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MEMS流量傳感器

MEMS流量傳感器

MEMS熱式流量傳感器是一種利用流體傳熱原理的流體測(cè)量器件,可以用于檢測(cè)氣體流量、微差壓、風(fēng)速。主要用于醫(yī)療、儀器、燃?xì)獾阮I(lǐng)域,提供高精度低功耗流量檢測(cè)。月產(chǎn)能≥50K。

精度高

精度高:直接測(cè)量質(zhì)量流量不引入二次誤差

響應(yīng)快:<10ms的快速測(cè)量

靈敏度高:能對(duì)微小流量進(jìn)行測(cè)量

可靠性強(qiáng)

無(wú)可動(dòng)部件,長(zhǎng)期保持測(cè)量性能

流場(chǎng)適應(yīng)性強(qiáng),無(wú)需特定的直管段要求

集成化

傳感器與電路集成:支持IIC和線(xiàn)性模擬電壓輸出

低功耗

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